Laboratoorsete ruumide temperatuur ja niiskus määratakse peamiselt vastavalt protsessi nõuetele, kuid protsessi nõuete täitmisel tuleb arvestada inimeste mugavuse taset. Õhuniiskusnõuete parandamisega on nõudlus temperatuuri ja niiskuse järele üha rangem. Temperatuuri spetsiifilised protsessinõuded on loetletud hiljem, kuid üldiselt on töötlemise täpsuse järjest peenemisel temperatuuri kõikumise ulatuse nõuded muutumas väiksemaks ja väiksemaks.
Näiteks suuremahulise integraallülituste tootmise litograafia kokkupuute protsessis peab klaasi ja räni vahvli kui maski materjali vaheline soojuspaisumisteguri erinevus olema väiksem ja väiksem. 100 um läbimõõduga ränist vahvliga, temperatuuri tõus 1 kraadi, see põhjustas lineaarse laienduse 0,24um, selle püsiv temperatuur peab olema ± 0,1 kraadi, samal ajal kui nõutav niiskus on üldiselt madalam, sest inimesed higi lähevad, toode saastunud, eriti kardab naatrium pooljuht töökoda, selle töökeskuse temperatuur ei tohiks ületada 25 kraadi, ülemäärase niiskuse probleem tekitas rohkem probleeme. Kui suhteline niiskus ületab 55%, moodustub jahutusvee toru seinal kondensatsioon. Kui see tekib täppisseadmes või vooluringis, põhjustab see mitmesuguseid õnnetusi.
Rõhuregulatsioonid
Enamike puhaste ruumide puhul on vaja hoida siserõhku (staatiline rõhk) kõrgem kui välisrõhk (staatiline rõhk), vältimaks välise saastatuse sissetungi. Survevahetuse säilitamine peaks üldiselt vastama järgmistele põhimõtetele:
1. Puhta ruumi rõhk on kõrgem kui puhta ruumi rõhk.
2. Kõrge puhtuse taseme rõhk on kõrgem kui külgneva madala puhtuse taseme rõhk.
Rõhumõõtmise hooldus sõltub värske õhu kogusest, mis suudab kompenseerida õhurõhku, mis lekib selle rõhuerinevuse all olevast tühimikust. Seega on rõhu erinevuse füüsiline tähendus lekke (või läbitungimise) takistus, kui õhuhulk läbib puhta ruumi erinevaid lünki.
Õhukiiruse reeglid puhas ruumis
Siin käsitletav õhuvoolu kiirus viitab puhta ruumi õhuvoolu kiirusele. Spetsiifiliste seadmete arutamisel arutatakse õhuvoolu kiirust teistes puhastes ruumides.
Turbulentse puhta ruumi tõttu Kuna siseruumide saastatuse määra vähendamiseks kasutatakse enamasti peamiselt õhu lahjendamist, kasutatakse peamiselt õhu muutuste arvu mõistet selle asemel, et otseselt kasutada kiiruse mõistet, kuid on olemas ka järgmine siseõhu kiiruse nõuded;
(1) Õhukiirus õhu väljundava väljalaskeava juures ei tohiks olla liiga suur. Võrreldes lihtsa konditsioneeritud ruumiga, on see vaja kiiremat kiirust nõrgendada ja suuremat levitusnurka.
(2) Õhuvoolu kiirus (näiteks külgtöötluse ajal retsirkulatsiooni kiirus), mis ületab horisontaaltasapinda, ei tohiks olla liiga suur, nii et pinnaosakesed õhuvoolu tagasipööramiseks ei õhkuks põhjustada uuesti saastumist. Selline kiirus ei ole üldiselt soovitatav olla nii suur kui 0,2 m / s.
Paralleelvoolu puhtaks ruumiks, mida nimetatakse tavaliselt laminaarseks puhtaks ruumiks, on ristlõike kiirus väga tähtis näitaja tõttu, et kolvi kasutatakse peamiselt õhuvooluks, välistamaks värvimist. Varem viidati Ameerika Ühendriikide standardile 20gB ja kasutati 0,45. Prl. Kuid inimesed on ka õppinud, et nii suurte kiiruste jaoks vajaliku ventilatsiooni kogus on väga suur. Energia säästmiseks otsivad nad ka tuule kiiruse vähendamise teostatavust.
Hiinas on nii Air Cleantechi meetmed kui Cleanroomi disainikood
Vertikaalne paralleelvool (laminaarne vool) puhas ruum ≥ 0,25 m / s
Horisontaalne paralleelvool (laminaarne vool) puhas ruum ≥ 0,35 m / s
Müra juhtimine
Puhta laboratoorse ehituse müra normid on üldiselt rangemad kui tervisekaitse. Eesmärk on tagada, et toimingud viiakse läbi tavaliselt ja et on vajalik vajalik vestluskontakt ja turvaline ja mugav töökeskkond. Seetõttu on puhta ruumi müra peamine näitaja.
1. Probleemide mõju
Müra tõttu tunnevad inimesed rahutust ja emotsioone. Need on üldiselt jagatud väga vaikseks, väga vaikseks, vaikseks, veidi mürarikasks, suhteliselt mürarikaks ja äärmiselt mürarikaks. Kui vastuse tase on väga mürarikas ja äärmiselt mürarikas, on suur ärevus ja suurte probleemide arv koguarvust on suur ärevus.
2. Mõju töö efektiivsusele
See sõltub peamiselt vastusest kolmele alale. Need kolm aspekti on: kontsentratsioon, tegevuse täpsus ja töökiirus;
3. Integreeritud side häired